【单选题】【消耗次数:1】
在芯片制造流程中,哪个步骤是将电路图案转移到晶圆上的关键步骤( )。
晶圆加工
氧化
光刻
刻蚀
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①  正确
②  错误
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①  正确
②  错误
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①  正确
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①  正确
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①  <img class=jc-formula data-tex={ \Delta }_{ i } src=https://huaweicloudobs.ahjxjy.cn/D38C3DA1B5DE1337EA57513988E7CD36.png style=font-family: 宋体; font-size: 14px; white-space: normal; vertical-align: middle;/>
②  <img class=jc-formula data-tex={ \Delta }_{ j } src=https://huaweicloudobs.ahjxjy.cn/49EBEE7208F761076805E0416F5287EE.png style=font-family: 宋体; font-size: 14px; white-space: normal; vertical-align: middle;/>
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①  1
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①  8
②  10
③  11
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①  平衡方程
②  位移条件
③  物理关系
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①  正确
②  错误