【多选题】【消耗次数：1】
MEMS技术将传感器的（）、（）与（）等提高到了新的高度，为传感器技术的发展提供了源源不断的动力。
①
A.微型化
②
B.集成化
③
C.多功能化
④
D.环保化
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【单选题】
按照传感器（ ）的方式可分为应变式传感器、压电式传感器、压阻式传感器、电感式传感器、电容式传感器、光电式传感器等。
①
工作原理
②
工作机理
③
输出信号
④
能量转换
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