TSV的主要技术环节为（）。

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【多选题】【消耗次数：1】

TSV的主要技术环节为（）。

① A.通孔的形成

② B.晶片减薄

③ C.TSV键合

④ D.引线键合

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① 可以提高吸收塔出塔液体浓度

② 得到较纯净的吸收质气体

③ 提高对吸收质的吸收率

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① 降低

② 升高

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① 液体出塔浓度和气体出塔浓度均增加

② 在塔的下部将发生解吸现象

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① 降低

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① 二甲醚

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【单选题】在实际生产中，回流比合适的情况下，蒸汽加入量是否合适，主要取决于（）。

① 预塔液位

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① 正确

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